表面粗糙度的檢測(cè)方法
發(fā)布時(shí)間：2016-09-21 03:04:19 點(diǎn)擊量：1218
表面粗糙度的檢測(cè)方法有比較測(cè)量法、非接觸測(cè)量法、接觸測(cè)量法和模法：
比較法是將被測(cè)表面與已知其評(píng)定參數(shù)值的粗糙度樣板相比較，如被測(cè)表面較光滑時(shí)，可借肋于放大鏡、比較顯微鏡進(jìn)行比較，以提高檢測(cè)精度。比較樣板的選擇應(yīng) 使其材料、形狀和加方法與被測(cè)工件盡量相同。比較法簡(jiǎn)便實(shí)用，適合于車間條件下判斷中、低精度的表面。比較法的判斷準(zhǔn)確程度在很大程度上與檢驗(yàn)人員的技術(shù) 熟練程度有關(guān)。
非接觸測(cè)量法包括光切法、干涉法、激光反射法和激光全息法。光切法顯微鏡是利用“光切原理”測(cè)量表面粗糙度的方法。干涉法是干涉顯微鏡利用光波干涉原理在 被測(cè)表面上產(chǎn)生干涉條紋，通過測(cè)量表面干涉條紋的彎曲度，實(shí)現(xiàn)對(duì)表面粗糙度的測(cè)量。激光反射法是通過激光束以一定的角度照射到被測(cè)表面，通過觀測(cè)反射強(qiáng)弱 測(cè)出表面粗糙度。激光全息法的基本原理是以激光照射被測(cè)表面，利用相干輻射，拍攝被測(cè)表面的全息照片獲得一組表面輪廓的干涉圖形，然后用硅光電池測(cè)量黑白 條紋的強(qiáng)度分布，測(cè)出黑白條紋反差比，從而評(píng)定被測(cè)表面的粗糙度程度。
接觸測(cè)量法常用的是針描法。針描法是利用儀器的觸針在被測(cè)表面上輕輕劃過，被測(cè)表面的微觀不平輪廓將使觸針作垂直方向的位移。再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn) 換成電量的變化，經(jīng)信號(hào)放大和積分計(jì)算后，在顯示器上示出被測(cè)表面粗糙度的評(píng)定參數(shù)值。亦可由記錄器繪制出被測(cè)表面的微觀輪廓圖形。按針描法原理設(shè)計(jì)制造 的表面粗糙度測(cè)量儀器通常稱為輪廓儀。根據(jù)轉(zhuǎn)換原理的不同，可以有電感式輪廓儀、電容式輪廓儀、壓電式輪廓儀等。輪廓儀可測(cè)Ra、Rz、 Ry 、S、Sm及tp等多個(gè)參數(shù)。
印模法是用塑性材料將被測(cè)表面復(fù)制下來制成印模，再對(duì)印模進(jìn)行測(cè)量的間接方法。常用的印模材料有川蠟、石臘、塞璐珞、低熔點(diǎn)合金等。由于印模材料不可能完 全填滿被測(cè)表面的谷底，取下印模時(shí)又會(huì)使波峰被削平，因此印模的高度參數(shù)值通常比被測(cè)表面的高度參數(shù)實(shí)際值小，因此應(yīng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行修正。印模法一般適 用于內(nèi)表面粗糙度的檢測(cè)。
比較法是將被測(cè)表面與已知其評(píng)定參數(shù)值的粗糙度樣板相比較，如被測(cè)表面較光滑時(shí)，可借肋于放大鏡、比較顯微鏡進(jìn)行比較，以提高檢測(cè)精度。比較樣板的選擇應(yīng) 使其材料、形狀和加方法與被測(cè)工件盡量相同。比較法簡(jiǎn)便實(shí)用，適合于車間條件下判斷中、低精度的表面。比較法的判斷準(zhǔn)確程度在很大程度上與檢驗(yàn)人員的技術(shù) 熟練程度有關(guān)。
非接觸測(cè)量法包括光切法、干涉法、激光反射法和激光全息法。光切法顯微鏡是利用“光切原理”測(cè)量表面粗糙度的方法。干涉法是干涉顯微鏡利用光波干涉原理在 被測(cè)表面上產(chǎn)生干涉條紋，通過測(cè)量表面干涉條紋的彎曲度，實(shí)現(xiàn)對(duì)表面粗糙度的測(cè)量。激光反射法是通過激光束以一定的角度照射到被測(cè)表面，通過觀測(cè)反射強(qiáng)弱 測(cè)出表面粗糙度。激光全息法的基本原理是以激光照射被測(cè)表面，利用相干輻射，拍攝被測(cè)表面的全息照片獲得一組表面輪廓的干涉圖形，然后用硅光電池測(cè)量黑白 條紋的強(qiáng)度分布，測(cè)出黑白條紋反差比，從而評(píng)定被測(cè)表面的粗糙度程度。
接觸測(cè)量法常用的是針描法。針描法是利用儀器的觸針在被測(cè)表面上輕輕劃過，被測(cè)表面的微觀不平輪廓將使觸針作垂直方向的位移。再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn) 換成電量的變化，經(jīng)信號(hào)放大和積分計(jì)算后，在顯示器上示出被測(cè)表面粗糙度的評(píng)定參數(shù)值。亦可由記錄器繪制出被測(cè)表面的微觀輪廓圖形。按針描法原理設(shè)計(jì)制造 的表面粗糙度測(cè)量儀器通常稱為輪廓儀。根據(jù)轉(zhuǎn)換原理的不同，可以有電感式輪廓儀、電容式輪廓儀、壓電式輪廓儀等。輪廓儀可測(cè)Ra、Rz、 Ry 、S、Sm及tp等多個(gè)參數(shù)。
印模法是用塑性材料將被測(cè)表面復(fù)制下來制成印模，再對(duì)印模進(jìn)行測(cè)量的間接方法。常用的印模材料有川蠟、石臘、塞璐珞、低熔點(diǎn)合金等。由于印模材料不可能完 全填滿被測(cè)表面的谷底，取下印模時(shí)又會(huì)使波峰被削平，因此印模的高度參數(shù)值通常比被測(cè)表面的高度參數(shù)實(shí)際值小，因此應(yīng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行修正。印模法一般適 用于內(nèi)表面粗糙度的檢測(cè)。
